一、產(chǎn)品功能

FTPA20O0-SC系列濕法過程分析儀(WPA)最多可監(jiān)測8個浴槽。浴槽可在單個或多個機臺上使用并且可監(jiān)控相同或不同的化學(xué)藥液。WPA可以安裝在浴槽100米(328英尺)內(nèi)任何位置，通過Modbus，以太網(wǎng)或4-20mA模擬輸出進行通訊。WPA除了能夠顯示過程中監(jiān)測的各個性質(zhì)值及其趨勢外，還能夠自動存儲數(shù)據(jù)，當(dāng)數(shù)值超出許可范圍時，軟件會發(fā)出警告或報警。

二、遠程分析

過程控制可實時監(jiān)控浴槽藥液濃度并及時控制藥液的補加，是一種最有效的減少偏移事件和減少化學(xué)藥液用量的方法。WPA是一個基于FT-IR傅立葉紅外技術(shù)的低漂移系統(tǒng)，專利叉骨雙懸臂角鏡式干涉儀的高抗震性和永久準(zhǔn)直以及激光控制計量的高度穩(wěn)定性，可實現(xiàn)可靠穩(wěn)定的過程控制。

三、產(chǎn)品特點

1. 可對濕法化學(xué)過程進行精確、實時的在線監(jiān)測。

2. 非接觸式測量。

3. 快速測量(<1分鐘)，接受多種通訊協(xié)議。

4. 多流路分析(最多可達8個流路)。

5. 多組分分析（每個流路可切換多種配方工藝藥液）

6. 可通過光纖實現(xiàn)遠程監(jiān)測，儀器外型尺寸小。

7. 傅立葉紅外擁有極高的穩(wěn)定性和可靠性。

四、產(chǎn)品優(yōu)勢

1. 延長藥液使用壽命，減少化學(xué)品消耗，無離線實驗室分析所需的停工期，從而節(jié)約生產(chǎn)費用。

2. 無化學(xué)品損耗，無污染風(fēng)險，安裝時無需停工。

3. 實時過程控制。

4. 每一監(jiān)控點分析成本低。

5. 增強了技術(shù)要求很嚴(yán)格的場合的過程分析性能，減少晶片的清洗次數(shù)。

6. 靈活的安裝選擇。

7. 無漂移，維護量低。